氦质谱检漏仪 ASM 390

氦质谱检漏仪 ASM 390

Pfeiffer Vacuum
上海
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移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 全新上市!

上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空和涡轮分子泵, 检漏仪 ASM 392 内置2台涡轮分子泵, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间, ASM 390, ASM 392 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间使其成为同类型检漏仪中的佼佼者!



移动型氦质谱检漏仪ASM 392 优势 ASM 390, :

1. 强大的抽空能力

2. 极短的测试时间

3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸

4. 符合人体工学设计, 移动性强

5. 完全符合 Semi S2 标准



上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比: 型号ASM 390ASM 392ASM 380 检测气体4He, 3He, H2 最小检测漏率真空模式: 1X10-12 mbar l/s

吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s 对氦气的抽速10 l/s25 l/s, 内置2台分子泵7 l/s 前级泵抽速35 m3/h 进气口最大压力20 mbar20 mbar15 mbar 无校准的启动时间(20°C)2 min2 min< 4.5 min 进气口DN 40 ISO-KF 响应时间< 1 s Interface,  选配RS-232, I/O, Ethernet 噪音≤ 55 dB (A)≤ 55 dB (A)53 dB (A) 重量125 kg130 kg110 kg 尺寸(LxWxH)1072 x 455 x 1025 mm1072 x 455 x 1025 mm1065 X 455 X 1025 mm

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 应用领域: 可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的应用

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 欢迎联络上海伯东



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