CVD 钻石长晶炉检漏用氦质谱检漏仪

CVD 钻石长晶炉检漏用氦质谱检漏仪

Pfeiffer Vacuum
上海
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质谱检漏仪 CVD 钻石长晶炉检漏

长晶炉是用于人工合成晶体的设备. 上海伯东客户浙江某 CVD 人造钻石制造商, 累积采购 5套干式氦质谱检漏仪 ASM 340 D 用于 CVD 钻石生产设备长晶炉检漏, 其生产的人造钻石广泛用于精密切割工具.


长晶炉设备需要检漏: 在 CVD 过程中, 将一片薄的金刚石种子 ( 通常是天然的金刚石) 放置在密封室中, 加热到 800摄氏度左右. 然后通入富碳气体 ( 通常是甲烷 ) 和其他气体. 如果密封室或者气体供应系统有漏, 直接影响原子沉积, 导致无法形成钻石或质量不佳.


长晶炉设备检漏方法: 上海伯东根据客户生产条件, 推荐每条生产线搭配一台干式氦质谱检漏仪 ASM 340 D, 检漏仪内置2台前级 (低噪音, 清洁无油隔膜泵), 保证无任何油雾气污染真空腔, 采用负压法对 Seki 长晶炉设备真空腔和气体供应系统进行检漏, 经过泄漏检测, 生产的人造钻石可以匹配甚至超过天然钻石的质量和特性!

1. 干式检漏仪 ASM 340 开机, 仅需3分钟进入工作状态

2. 按照界面提示, 设置漏率值 1x10-8 mbal l/s

3. 开始检漏, 在怀疑有漏的地方用喷枪喷氦气, 比如焊缝, 管路, 阀门

4. 如果有漏, 检漏仪时时发出声光报警, 协助客户定位定量漏点.


检漏配置干式氦质谱检漏仪 ASM 340 D

吸枪模式最小漏率: 5x10-9 mbarl/s (目前业界公认最小漏律)

真空模式最小漏率: 5x10-12 mbarl/s

检测气体: 4He, 3He, H2

检测模式: 真空, 吸枪

对氦气的抽气速度 2.5 l/s

进气口最大压力 25 hPa

前级泵抽速 3.4 m3/h结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>


鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解 CVD 钻石长晶炉检漏, 请联络上海伯东叶小姐,分机109

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