MTI ALD-1200X-R-4 管式炉系统

MTI ALD-1200X-R-4 管式炉系统

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MTI ALD-1200X-R-4 管式炉系统

旋转粉末ALD 4“管式炉系统(高1200oC)-ALD-1200X-R-4

  ALD-1200X-R-4是一种4英寸旋转管式炉,结合了两通道A LD  阀和一通道液汽输送(原子层沉积)以及四通道气体输送,从而通过。既ALD和CVD的智能设计,使ALD更具成本效益和负担得起的每一个研究小组。

规格:

控制面板

蒸气,ALD和气体流量的所有参数都集成到一个移动推车中,并由PLC通过6英寸触摸屏进行控制:

两通道ALD阀

对于通道MFC气体输送

请点击下图查看控制界面


ALD阀

两个带有脉冲控制器的ALD阀(持续时间至少10毫秒)

能够用热执行器加热

液体蒸气发生器

包括自动液体蒸气发生器,并连接到ALD阀

旋转炉


高1100oC,可连续加热

两个可编程的精密数字温度控制器,具有30个段。

输入功率:208 – 240V AC输入,最大单相。4千瓦

转速:0-10 RPM

4“石英管如下图

       四个搅拌叶片                尺寸


防腐蚀压力表

3.8x10 -5  至1125托测量范围

防腐蚀,气体类型独立

大气中的高精度和可重复性,可实现可靠的大气压检测

快速的大气检测消除了等待时间并缩短了处理周期

易于更换的即插即用传感器元件

点击图片查看详细规格。

真空

(可选)

加工管内可达到10E-2 Torr 真空

不包括真空泵,建议您通过单击下面的图片订购用于CVD工艺的干式泵

多起泡器

可以增加  Quartz Crysta l和热电偶  来监控薄膜厚度和温度,但需要额外付费


保证

一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管,O形圈和加热元件)

合规

CE认证

应用笔记单击此处以了解如何 使用气体调节


带石英管的管式炉设计用于真空和< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低压

甲ttention:必须在气瓶安装的两级压力调节器,以限制压力低于3 PSI安全操作。

气体的流量应限制为<200 SCCM(或200 ml / min),以减少对管子的热冲击

所有石英管炉的真空极限定义:*真空压力只能在高1000°C的温度下安全使用

应用

使用ALD可以显着降低石榴石电解质和电极材料之间的高固-固界面阻抗。


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